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SEMICON Japan 2024

 

アントンパール、800℃対応のナノインデンテーション試験機を開発

 アントンパール・ジャパン( http://www.anton-paar.com/jp-jp/ )は、アントンパール社の開発した800℃まで正確に測定できるナノインデンテーション試験機「UNHT3HTV」の取り扱いを開始する。

 同試験機は、高精度インデンテーションを実現したウルトラナノインデンテーションテスタ(UNHT)のコア技術を利用しつつ、UNHT測定ヘッドを高温環境で動作できるように最適化し、特許出願中の独自の試料ステージと組み合わせたもの。

 赤外線ヒーターによるインデンター圧子とリファレンス圧子の加熱と、最大6個の熱電対の利用による最高の温度安定性を保ちながら高温ナノインデンテーション試験を実現する。

 800℃までの高温における硬度・弾性率の変化だけでなく金属における酸化の影響、工学材料のクリープ特性、高温で使用される薄膜の機械的特性、結晶における弾性塑性遷移などの評価に役立つ。

アントンパール・ジャパン「UNHT<sup>3</sup>HTV」アントンパール・ジャパン「UNHT3HTV」