トライボコーティング研、平成23年度第4回研究会を開催

　トライボコーティング技術研究会（ http://www.tribocoati.st ）は12月8日、東京・青海の東京都立産業技術研究センターで、平成23年度第4回研究会を開催した。

　当日は、エスアイアイ・ナノテクノロジーから3名の講演が行われた。「最新のSEM観察~低加速SEM観察法~」と題して講演を行った横浜ラボの土谷康夫氏は、独カールツァイス社のSEM（GEMINI）の特徴と応用について講演。独自の光学系と検出系により、低加速領域での高分子分解能・高コンストラスト電子像の取得が可能な装置を使用して観察した表面形状などについて紹介し、「真の表面・界面構造の解析には役立つ装置である」とした。

　続いて、BT技術部の酉川翔太氏が「最新FBI装置及びアプリケーションの紹介」で登壇。FIBとSEMの複合機について講演を行った。同装置はFIBで加工した連続断面の連続SEM像が取得可能。3D構築ソフトウェアを用いて積層再構築をすることで、3Dイメージが再現できる。講演ではこの装置の特徴や応用例を紹介した上で「今後は3D-EDS/3D-EBSDの自動化などの機能開発・評価を継続する予定」と述べた。引き続き、分析応用技術部の山岡武博氏が「SPM（走査型プローブ顕微鏡）最新情報」について講演。SPMの概要や特徴などを解説した。

　講演終了後は、10月に東京・西が丘から青海に移転した東京都立産業技術研究センター本部の見学会が行われた。
平成23年度第4回研究会のもよう