三菱マテリアル、ディスプレイTFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット

　三菱マテリアル（ https://www.mmc.co.jp/ ）は、ディスプレイTFT配線用黒化膜スパッタリングターゲット「DIABLA（ディアブラ）」を開発し、量産を開始するとともに製品ブランド「DIABLA（ディアブラ）」シリーズを新たに立ち上げる。

　スパッタリングターゲットは、対象とする電子基板に原子レベルで合金や金属酸化物等の物質を付着させ、薄い膜を形成するための電子材料。そのうち、黒化膜用スパッタリングターゲットは、有機ELや液晶パネルのTFT配線上への成膜によって配線を黒化し、TFT配線の可視光反射率を下げる（低反射化）ために使われている。従来製品と比べ、各種ディスプレイのさらなる高精細化やデザインの自由度向上や半導体関連製品等の配線反射光によるノイズ低減に寄与する。

　同品の主な特徴は①配線上への成膜後に可視光の低反射化が可能②反応性ガス不要でDCスパッタ可能③成膜後、配線と一括でエッチング加工が可能④高い耐熱性と水・アルカリに対する耐性を有する、など。