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SEMICON Japan 2024

 

パルメソ、材料表面の深さ方向の強さ分布を表す評価装置

パルメソ「MSE試験装置」 パルメソ( http://www.palmeso.co.jp/ )は、材料表面の摩耗量の変化を摩耗率という指標で表すことで、様々な材料の深さ方向の表面強度を比較することができる「MSE試験装置」の販売を行っている。

 同装置は、水に微粒子を含有したスラリーを試料面に噴射させてナノメートルオーダー単位で摩耗を進行、その摩耗率を測定することで表面特性を評価できる。主な特徴は①薄膜や表面改質などの深さ方向の強さ分布を連続して評価出来る②強さの変化点から強さ基準での膜厚が測れる③薄膜の界面部の強さ変化が可視化できる④多層膜の各層の強さが可視化できる、など。