堀場製作所、DLCセミナー開催

　堀場製作所は10月16日、東京・千代田区の同社東京セールスオフィスで、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜の標準化から、DLC膜評価に利用できる分光エリプソメータなど同社の各種分析機器や、それらを用いたDLC膜の評価事例などについて紹介するセミナーを開催した。

　「特別講演：DLC規格化の最新情報」斎藤秀俊氏（長岡技術科学大学 教授）・・・DLC膜の構造や各種特性の評価法について、我が国のDLC関連市場拡大を目的に標準化を進めている状況などについて解説した。

　「高周波グロー放電発光表面分析（GD-OES）法について」中村龍人氏（堀場製作所）・・・前処理なしで、薄膜試料中の元素分析を数10ppmオーダーの感度、深さ方向数nmの高分解能で迅速に行えるGD-OES法について、特徴と適用事例を紹介した。

　「分光エリプソメトリについて」櫻井正行氏（堀場製作所）・・・分光エリプソメトリ法が、非接触・非破壊で薄膜試料にダメージを与えることなく高感度に膜厚や屈折率を測定でき、DLCを分類・評価できる可能性について述べた。

　「DLC成膜と品質管理の最新技術～分光エリプソメトリ法による評価事例～」平塚傑工氏（ナノテック）・・・同社独自の物性で分類したDLC膜であるICF膜などについて紹介したほか、分光エリプソメータを用いた各種DLC膜の測定・分類や品質評価の事例などについて紹介した。