トライボコーティング研、平成24年度第4回研究会を開催

　トライボコーティング技術研究会（ http://www.tribocoati.st ）は12月7日、埼玉・和光の理化学研究所で、平成24年度第4回研究会を開催した。

　当日は、首都大学東京 助教の清水徹英氏が「マイクロプレス加工のトライボロジーと金型表面設計」と題した講演を行った後、会員講演としてINI Coatings Ltd 日本支店代表 稲垣力氏が「INI Coatings Ltd（ドイツ）のご紹介」、CSM instrumentsのグウェン ボロレ氏が「スクラッチ試験を用いた薄膜密着性の評価」と題した講演を行った。グウェン氏の講演では、スクラッチ試験の方法やロックウェル試験との比較、薄膜の破壊現象などについて様々な具体的測定データを提示して、薄膜分析におけるスクラッチ試験の有用性を示した。

　続いて、産業技術総合研究所の池山雅美氏は、「高繰返し周波数の両極パルスを用いたPBII法によるSi含有DLC膜（Si-DLC）の形成」と題して講演。同研究所で導入した半導体式パルス電源を使用したPBIIシステムの概要と、これまでに得られた両極パルスのパルス幅、繰返し周波数や原料ガスの流量やガス圧と成膜速度の関係、フッ素ゴムへのSi-DLC膜の低温成膜、鏡面研磨した金属への比較的透明性の高いSi-DLC膜の形成について紹介を行った。　また、講演の最後には、福岡県工業技術センターの池田健一氏が「クラスタープラズマによるコーティング除去技術」と題して講演を行った。

講演のもよう